半导体湿制程应用的工艺要求随着半导体技术日益小型化和复杂化的发展趋势也变得越来越严苛,需要使用各种不同类型的介质来满足不同工艺领域的需求(例如半导体制造、光伏或LED)。因此,对于关键的工艺介质,提供超纯净、安全、可靠的输送显得尤为重要。
苏磁科技Supermag®一直以来在半导体行业中扮演着关键的角色。我们致力于提供超洁净的磁悬浮转台电机、泵浦和搅拌混合系统,从而帮助全球芯片制造商加工最小的晶圆结构。
生产工艺概述
Process Overview
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产品应用
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