磁悬浮技术
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化药
苏磁科技多自由度主动磁悬浮控制技术，实现了对转子高达9自由度的无接触支撑，可以适应从静止到高速的宽转速范围应用，且具有无润滑、无接触摩擦等特点。通过多自由度非正交对象的解耦控制，完成了高稳定性的磁悬浮电机结构，满足了8-12英寸晶圆制程设备需求。
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产品描述
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