大宗化学材料输送

Bulk Chemical Delivery

想要管理工艺流程的完整性，需要从与晶圆直接接触的介质开始。随着半导体工艺设备小型化程度的不断提高，对于大宗化学材料的纯度及其供应系统的要求也越来越高。相较于泵，压力容器存在水锤风险，可能导致过滤器中的颗粒物被释放，产生安全性问题。在目前所有用于半导体制造的泵中，由于没有机械轴承，苏磁科技Supermag®泵几乎不会产生碎屑颗粒，因此成为了超纯湿式制程应用的行业标准。

苏磁科技Supermag®泵专为要求苛刻的大宗化学品输送应用而设计，对此，只有保证工艺流程的超纯和安全才能确保最终产品的质量。

优势

Advantages

洁净的泵-超低碎屑颗粒产生

苏磁科技Supermag® 泵基于主动磁悬浮技术。叶轮与泵头机壳之间没有机械耦合，从而实现无磨损运行，因此几乎不会产生碎屑颗粒。

安全的生产工艺-无水锤效应

与泵相比，压力容器被安装在“非循环”系统中，这样可能承担水锤的风险。水锤可能导致过滤器中的颗粒物释放，并因大量液压冲击而产生安全性问题。苏磁科技Supermag®泵允许安装一个循环回路，可以改善过滤器的性能并确保最大程度的安全。

更强的净化效果-多个过滤循环

       传统压力容器系统只进行单一过滤步骤，大部分污染物仍留在液体中，但若在循环系统中安装苏磁科技Supermag®泵可进行多个过滤循环，极大地提升了净化效果，优势突出。

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