湿制程清洗

Wet Cleaning

随着半导体制造工艺对污染物敏感性的日益提高，晶圆清洗已成为最关键的工艺步骤之一。尽可能地减少工艺设备的颗粒污染对于获得高良率至关重要。与苏磁科技Supermag® 泵相比，气动泵会因止回阀、波纹管、隔膜和其他组件的摩擦产生磨损，磨损则会导致碎屑颗粒脱落，从而导致晶圆缺陷。此外，气动泵的脉冲流量会由于颗粒物的释放量增加而降低过滤器的性能。

苏磁科技Supermag® 泵专门设计用于要求苛刻的湿制程清洗工艺，其中高纯净和低脉动可以确保产品良率。

优势

Advantages

洁净的泵-超低碎屑颗粒产生

苏磁科技Supermag® 泵基于主动磁悬浮技术。叶轮与泵头机壳之间没有机械耦合，可以实现无磨损运行，因此几乎不会产生碎屑颗粒。

增进过滤性能-无脉冲泵送

压力和脉冲流量会显著增加颗粒从过滤器中的释放，从而降低其使用寿命。苏磁科技Supermag® 泵开放式的泵头设计、离心泵原理和无阀门结构实现了完全无脉冲流量，改善了过滤器性能并增加其使用寿命。

低微金属污染-接液表面积小

苏磁科技Supermag® 泵的接表面积比具有类似液压性能的气动泵小好几倍。这减少了与酸性化学品的接触，因此减少了微量金属的渗出。

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