SEMICON China 2025丨苏磁科技与您相约全球最大半导体展
2025-03-19 10:15:00

2025年3月26日至28日,全球半导体行业瞩目的SEMICON China 2025将在上海新国际博览中心盛大启幕!


作为中国规模最大、影响力最广的半导体行业盛会,本届展会覆盖芯片设计、制造、封测、设备及材料等全产业链,并同期举办20余场高端论坛。为产业链上下游企业提供了宝贵的交流与合作机会,对于推动半导体产业的技术创新、产业升级和市场拓展具有重要意义。


苏磁科技再次携新技术、新产品亮相展会,诚邀业界同仁莅临展位#E6722(E6馆)参观交流,了解更多关于磁悬浮技术在半导体领域的应用和探索。



洁净可靠的半导体领域解决方案


半导体设备作为半导体产业链中不可或缺的一环,是产业竞争力的基础,也是推动整个行业乃至全球科技进步的重要力量。


随着市场上半导体技术的日益小型化和复杂化,高端芯片的制程工艺流程越来越严苛,其中“关键工艺介质的超纯、安全输送”与“消除工艺设备的颗粒污染”是两个核心需求。


苏磁旗下磁悬浮系列产品针对这两点提供了洁净、可靠的行业解决方案,磁悬浮晶圆转台和磁悬浮泵集【无摩擦 无润滑油 高洁净 高可靠】于一身,理想地解决了半导体制造工艺中,运动机构对速度、密封、颗粒、洁净度的极高要求。如匀胶显影、RTP、湿法刻蚀、湿法清洗、电镀、CMP、CDS/SDS、分子束外延、光刻等制程中就可以有很好的应用,助力我国半导体事业的发展。


本届展会将于3月27日同期举办新技术发布会,展示一系列颠覆性技术和创新解决方案。


苏磁科技创始人尹成科博士受邀出席,发表主题演讲并展示企业创新成果,与业界同仁探讨磁悬浮技术如何为半导体洁净工艺保驾护航以及磁悬浮技术市场前景,共同推动半导体产业的繁荣发展。


部分展品抢先看


本次SEMICON China,苏磁科技将为全球头部半导体企业展示包括:磁悬浮晶圆转台、磁悬浮泵、磁悬浮搅拌系统、磁悬浮涡轮分子泵等在内的高端技术装备。


苏磁科技自主研发的磁悬浮晶圆转台,为半导体设备中晶圆支撑和旋转而设计,使用先进的全磁悬浮轴承与电机集成控制技术。转子悬浮在空中旋转,无摩擦、无动密封、不产生颗粒,可应用于:氧化、扩散和退火、快速热处理(RTP)、快速退火(RTA)、单片晶圆清洗、MOCVD、刻蚀、旋涂等高端芯片的制程工艺中。


苏磁科技自主研发的磁悬浮泵,可用于高纯溶液的输送。转子悬浮在液体中工作,无机械摩擦、不产生颗粒、低剪切、低析出。流量压头范围宽、脉动小、控制智能、体积紧凑,是高端半导体等生产过程中的最优解。可应用于:匀胶显影、湿法刻蚀、湿法清洗、电镀、CMP、CDS/SDS等。


苏磁科技自主研发的磁悬浮涡轮分子泵,通过先进的磁悬浮轴承技术将转子完全无接触悬浮,无机械摩擦、无润滑油、洁净度高、运转可靠振动低,可实现超高真空环境,被广泛应用于半导体和泛半导体领域,如晶圆加工、刻蚀、薄膜沉积、离子注入、科研、光伏等。

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